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P78 壓電掃描臺是專為生物醫(yī)療應(yīng)用而設(shè)計(jì)的用于樣品顯微掃描的一維 Z 軸壓電掃描臺，它的外形結(jié)構(gòu)易集成于顯微儀器設(shè)備中。

<<特點(diǎn)

· 一維 Z 向運(yùn)動(dòng)

· Z 向分辨率可達(dá)4nm

· 通孔尺寸為120×70mm

· 行程范圍110μm

<<應(yīng)用

顯微成像、生物技術(shù)、超分辨率顯微鏡、光學(xué)圓盤顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D 成像、篩選、干涉測量、測量技術(shù)、自動(dòng)聚焦系統(tǒng)、半導(dǎo)體測試等。

P78 壓電掃描臺對于納米范圍的對準(zhǔn)、納米聚焦、測量等應(yīng)用是非常理想的?？蛇x配橋式配置的閉環(huán)傳感器，可消除溫度漂移，保證了納米范圍的定位穩(wěn)定性。同時(shí)，通過FEA 優(yōu)化了直線度與平面度，為運(yùn)動(dòng)方向及垂直運(yùn)動(dòng)方向上提供了較高的剛度。并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)，使其結(jié)構(gòu)更緊湊、響應(yīng)速度更快。

<<大通孔、大位移、高分辨、高精度

P78 系列壓電掃描臺，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，可以實(shí)現(xiàn)Z軸110μm的位移行程。優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化實(shí)現(xiàn)納米級的分辨率、毫秒級的響應(yīng)時(shí)間。

P78 系列壓電掃描臺可選擇配置閉環(huán)傳感器，對位移實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測并反饋給閉環(huán)壓電控制器，實(shí)現(xiàn)納米級精密控制。掃描臺臺體中心通孔尺寸為120×70mmmm，適用于干涉、掃描、表面檢測等應(yīng)用。

<<開/閉環(huán)曲線

<<階躍時(shí)間

<<技術(shù)參數(shù)