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P66.X60壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源并采用直驅(qū)式驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的壓電位移平臺，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，可達(dá)毫秒級響應(yīng)、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。

>>產(chǎn)品特點(diǎn)

• 一維X軸運(yùn)動(dòng)

• 位移行程68μm

• 承載可達(dá)6kg

• 開閉環(huán)可選

• 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

>>典型應(yīng)用

• 干涉/掃描

• 計(jì)量

• 質(zhì)量保證測試

• 微加工/精密控制

• 光盤驅(qū)動(dòng)測試

• 半導(dǎo)體技術(shù)

>>開閉環(huán)版本可選

P66系列壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本壓電納米定位臺內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（SGS），配備在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。

傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實(shí)現(xiàn)非常高的線性度與重復(fù)度。

>>閉環(huán)線性度曲線

>>標(biāo)準(zhǔn)連接器

驅(qū)動(dòng)與傳感的標(biāo)準(zhǔn)引線控制連接器分別為單芯LEMO連接器、四芯LEMO連接器，也可根據(jù)配套壓電控制器的接口類型定制連接器。

>>技術(shù)參數(shù)