真空多維運(yùn)動(dòng)壓電馬達(dá)位移臺(tái)
在科技飛速發(fā)展的今天，精密運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域不斷迎來(lái)創(chuàng)新突破。壓電產(chǎn)品作為精密運(yùn)動(dòng)的主力軍，以其**的工作原理和優(yōu)秀性能，正逐漸在眾多領(lǐng)域嶄露頭角。今天，我們要為大家介紹的是一款多維真空壓電馬達(dá)——F21.N2E。
F21.N2E是一款二維運(yùn)動(dòng)壓電馬達(dá)，可進(jìn)行X向直線運(yùn)動(dòng)和θx偏擺運(yùn)動(dòng)。X軸直線行程可達(dá)10mm，分辨率可達(dá)5nm，速度可達(dá)3mm/s，重復(fù)定位精度可達(dá)0.1μm；θx偏擺行程可達(dá)10°，分辨率可達(dá)1μrad，速度可達(dá)3°/s，重復(fù)定位精度達(dá)0.001°?？韶?fù)載600g樣品進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，體積小巧，適用于各種高精度應(yīng)用領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)
X、θx二維運(yùn)動(dòng)行程大響應(yīng)速度快閉環(huán)分辨率高真空兼容
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體：掃描電鏡（SEM）樣品操縱、原子力顯微鏡、大范圍電子束直寫（EBL）、光刻機(jī)、晶圓加工與檢測(cè)、探針臺(tái)等。
光學(xué)：激光通訊、激光加工、天文望遠(yuǎn)鏡、光路調(diào)整、激光穩(wěn)定、光纖對(duì)準(zhǔn)、光學(xué)測(cè)試系統(tǒng)等。
生物與醫(yī)療：超分辨成像樣品移動(dòng)、顯微及納米CT、細(xì)胞穿透、微計(jì)量配藥等。
芯明天多維度壓電馬達(dá)
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | F21.N2E |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | X、θx |
| 傳感器 | 光柵傳感器 |
| θx偏擺部分 | |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | θx |
| 速度上限 | 3°/s |
| 行程范圍 | 10° 或±5° |
| 分辨率 | 1μrad |
| 線性度 | 0.01° |
| 重復(fù)定位精度 | 0.001° |
| 直線運(yùn)動(dòng)部分 | |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | X |
| 速度上限 | 3mm/s |
| 行程范圍 | 10mm或±5mm |
| 分辨率 | 5nm |
| 線性度 | 0.8μm |
| 重復(fù)定位精度 | 0.1μm |
| 整體 | |
| 承載能力 | 600g |
| 工作溫度范圍 | 0~40°C |
| 重量 | 200g（不含線及連接器） |
| 臺(tái)體材料 | 鋼、鋁 |
| 出線長(zhǎng) | 0.7m |
| 連接器 | DB15公座×2 |
配套控制器
由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的E53.D1E-J壓電控制器非常適用于驅(qū)動(dòng)F21.N2E系列壓電馬達(dá)，它是單通道壓電控制器，采用數(shù)字控制，24VDC供電，靜態(tài)功耗小于5W，通信接口為TYPE-C、RS-422、RS-232操作便捷，尺寸僅105×103×30.1mm^3，外觀體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成。
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