直線壓電馬達(dá)、360 度旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)、壓電螺釘促動器、壓電鏡架、壓電調(diào)平臺、壓電搖擺臺、壓電調(diào)平臺、壓電馬達(dá)偏轉(zhuǎn)鏡、六軸壓電馬達(dá)平臺、壓電馬達(dá)控制器。 · 一至六維運(yùn)動可選 · 納米級分辨率 · 直線行程達(dá) 100mm · 可選配光柵傳感器 · 上位機(jī)軟件控制 · 低溫、真空、無磁版本可選 · 可定制 MN 直線壓電馬達(dá) 特點 • 壓電式驅(qū)動 • 小體積 • 納米級分辨率 • 3.5 至 30mm 行程可選 • 可選閉環(huán)版本、真空版本  
N11 系列直線壓電馬達(dá) N11 系列直線壓電馬達(dá)采用粘滑原理，將 PZT 壓電陶瓷的微運(yùn)動轉(zhuǎn)換為毫米級長行程。它的體積非常小巧，僅 15×15×7mm^3。而它的行程卻可高達(dá) 3.6mm，非常適用于受限空間中毫米范圍行程的調(diào)整應(yīng)用。 特點 • 行程可達(dá) 3.6mm • 一至三維可選 • 體積小、重量輕 • 速度可達(dá) 2mm/s • 斷電自鎖 應(yīng)用 • 超分辨成像樣品移動 • 微納裝備及制造 • 掃描電鏡（SEM）樣品操縱 • 納米聚焦與掃描 • 主動光學(xué) • 集成電路制造與檢測 • 顯微及納米 CT • 大范圍電子束直寫（EBL） • 高真空樣品精度對準(zhǔn)及調(diào)姿 N31 系列直線壓電馬達(dá) N31系列直線壓電馬達(dá)，內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動，直線運(yùn)動行程可選6、10、25、50、100mm，可達(dá)亞納米級分辨率?？蛇x配閉環(huán)伺服傳感器（光柵傳感器），具有更高的定位精度。 可選移動臺面。 特點 • 大出力 • 閉環(huán)誤碰后自動歸位 • 可軟件操作自動找零位 • 可選光柵數(shù)字閉環(huán) • 采用耐磨材料 • 可選二 / 三維 • 可定制真空版本 N31 系列三維閉環(huán)壓電馬達(dá) N31 系列三維閉環(huán)壓電馬達(dá)可在 XYZ 三個方向運(yùn)動，配備有光柵傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用 PZT 壓電式驅(qū)動，每軸運(yùn)動行程可選 25、50、100mm，可達(dá)納米級分辨率。 特點 • 行程 25、50、100mm/ 軸可選 • 納米級分辨率 • 承載達(dá) 2.5kg • 光柵傳感器 應(yīng)用 • 超分辨成像樣品移動 • 微納裝備及制造 • 掃描電鏡（SEM）樣品操縱 • 納米聚焦與掃描 • 主動光學(xué) • 集成電路制造與檢測 • 顯微及納米 CT • 大范圍電子束直寫（EBL） • 高真空樣品精度對準(zhǔn)及調(diào)姿 N56 系列直線壓電馬達(dá) N56 系列直線壓電馬達(dá)是采用壓電微驅(qū)動技術(shù)，即利用壓電微位移致動器實現(xiàn)高精度定位和運(yùn)動的技術(shù)，將壓電陶瓷在一定電場作用下的微變形量，經(jīng)過結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換，輸出宏動直線毫米級行程。 特點 • 壓電驅(qū)動 • 高分辨率 • 行程可達(dá) 50mm • 小體積 • 可選二、三維運(yùn)動版本 • 開 / 閉環(huán)、真空版可選 應(yīng)用 • 小負(fù)載、大行程納米定位 • 科學(xué)研究 • 光纖對接 • 微細(xì)加工 • 原子力顯微鏡 • 半導(dǎo)體的精密定位和微納操作 更多產(chǎn)品請下載資料！ |
