壓電納米定位臺(tái)小體積、高精度、響應(yīng)速度快，定位臺(tái)是超高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，具有超低慣性，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。壓電定位臺(tái)具有的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)，壓電定位臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響，壓電平臺(tái)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。
由于工藝的不斷成熟和成本的不斷下降，陶瓷電機(jī)納米定位臺(tái)的性?xún)r(jià)比已經(jīng)明顯優(yōu)于傳統(tǒng)壓電納米臺(tái)，甚至低于高精度的微型電機(jī)定位臺(tái)，在很多應(yīng)用中已經(jīng)取代這兩種產(chǎn)品。并且，陶瓷電機(jī)技術(shù)還在向更大的推力、更高的速度、更快的調(diào)制頻率方向發(fā)展，在未來(lái)將會(huì)出現(xiàn)在越來(lái)越多的高技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域。
壓電納米定位臺(tái)符合無(wú)摩擦導(dǎo)向原理，壓電位移臺(tái)無(wú)需維護(hù)，不存在磨損。更重要的是，其輸出運(yùn)動(dòng)靈敏度不會(huì)受機(jī)械摩擦的影響。閉環(huán)產(chǎn)品（型號(hào)以S結(jié)尾）內(nèi)部集成有高分辨率應(yīng)變計(jì)位置傳感器，其支持高精度且可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)，而且還會(huì)對(duì)促動(dòng)器蠕變進(jìn)行補(bǔ)償，并且對(duì)溫度不敏感。閉環(huán)產(chǎn)品即可開(kāi)環(huán)也可閉環(huán)控制。
芯明天壓電納米定位臺(tái)的驅(qū)動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式、放大機(jī)構(gòu)式。1-3維運(yùn)動(dòng)，行程范圍大可達(dá)1.1mm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，可以選擇配置高精度電容、電感、電阻應(yīng)變計(jì)傳感器實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有*的可靠性。壓電納米定位臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
