壓電掃描臺是用于樣品顯微成像的Z向運動壓電掃描臺，稱之為壓電顯微樣品臺，Z向掃描臺，Z向行程可達(dá)500μm。Z向掃描臺是專為生物醫(yī)療應(yīng)用而設(shè)計的用于樣品顯微掃描的一維Z軸壓電掃描臺，它的外形結(jié)構(gòu)易集成于顯微儀器設(shè)備中。
壓電掃描臺的應(yīng)用：
顯微成像、生物技術(shù)、超分辨率顯微鏡、光學(xué)圓盤顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D成像、篩選、干涉測量、測量技術(shù)、自動聚焦系統(tǒng)、半導(dǎo)體測試等。
壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺，采用XY軸一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)，中心具有通孔尺寸為25×27.5mm，產(chǎn)品體積小巧、性能穩(wěn)定，N65系列掃描臺為開環(huán)版本、動態(tài)性好，適用于動態(tài)掃描應(yīng)用領(lǐng)域及低溫環(huán)境。
壓電掃描臺剛度大、分辨率高、諧振頻率高、動態(tài)性能好。
采用壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)設(shè)計，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，臺面四角配有通孔，便于集成與安裝。
壓電掃描臺以開環(huán)版本為主，具有超高的分辨率，可達(dá)0.2nm。優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計使其具有3N/μm的高剛度，XY軸空載諧振頻率均可達(dá)到1KHz，該產(chǎn)品是高速掃描應(yīng)用的理想選擇。
掃描臺配套大功率E00/E01系列壓電控制器，可實現(xiàn)滿幅值階躍時間為1.5ms。
