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談起六自由度并聯(lián)機構這個名詞，就要追溯到1965 年，它由德國學者 Stewart提出的，是一種具有六自由度運動能力的并聯(lián)機構飛行模擬器，經典的六自由度并聯(lián)機構平臺由上、下兩個臺面和六個可伸縮的支腿以及它們之間的連接鉸鏈構成，其中下面的臺面通常稱為基臺，上面的臺面通常稱為負載平臺。六自由度并聯(lián)機構平臺通過六個支腿的伸縮運動可以實現(xiàn)負載平臺在工作空間范圍內的六自由度運動，并具有剛度大、精度高、承載能力強、動態(tài)特性好等諸多優(yōu)點。因此，多年來被廣泛的應用于科研及商業(yè)領域。

與串聯(lián)機構相比，并聯(lián)機構具有精度高、剛度大、結構穩(wěn)定、承載能力強、運動慣量小、動態(tài)特性好等優(yōu)點，因此從Stewart平臺誕生以來就在理論和應用領域取得了相當豐碩的成果。

芯明天作為納米運動與控制領域的專業(yè)設計、生產企業(yè)，也充分利用了六自由度并聯(lián)機構的原理，研發(fā)設計、生產了一款壓電式六自由度并聯(lián)機構平臺。它的主要特點是該六自由度并聯(lián)機構的六個支腿采用了閉環(huán)式壓電陶瓷促動器，而閉環(huán)壓電陶瓷促動器本身的直線運動精度和分辨率都是非常高的，都可達納米量級。

芯明天壓電式六自由度并聯(lián)機構平臺

設計裝配難度高

芯明天壓電式六自由度并聯(lián)機構平臺的裝配與控制是非常有難度的，使用過壓電陶瓷促動器的用戶都比較了解，壓電陶瓷促動器可承受的拉力是受限的，而對側向力的耐受性是更低的，幾乎為零。

因此，在該壓電式六自由度并聯(lián)機構平臺的裝配過程中，必須嚴格避免對壓電陶瓷促動器的側向力和拉力，這對裝配過程有著非常嚴苛的要求。

控制算法難度高

此外，在整個運動控制的過程中，六支壓電陶瓷促動器的配合聯(lián)動控制又是極其重要的，既要保證運動行程和精度的實現(xiàn)，又要保證不對任何一支壓電陶瓷促動器產生超限的拉力及側向力，這對控制軟件的算法及容錯提出更高的要求。并且，每個運動姿態(tài)對應每軸又有不同的運行范圍，要保證平臺在各個姿態(tài)下的運行范圍內控制運動。

芯明天控制軟件，操作方便，交互溝通性好

芯明天設計的控制軟件中每個軸都具有一個運動控制滑塊，可通過滑塊進行六個自由度的控制，在滑動控制的同時，計算各個運動軸的運行范圍，對超出任意一支壓電陶瓷促動器行程范圍的運行控制，系統(tǒng)都會給出運行提示。

精度控制簡便，配合笛卡爾坐標系

在控制軟件中，還有對各軸步進精度的控制功能，以便于用戶使用中，在六自由度運動平臺的任意當前姿態(tài)下，進行單個軸的納米級微小步進控制。并且，六自由度控制軟件采用笛卡爾坐標系來定義坐標系的角度偏轉。

芯明天壓電式六自由度精密定位平臺的應用領域非常廣泛，主要應用于半導體、微加工、醫(yī)療外科手術、航空航天等領域?；诓⒙?lián)機構的六自由度精密定位平臺具有移動部件慣量小、動態(tài)特性好、結構緊湊、剛度高并且具有高可靠性和重復性。芯明天壓電六自由度并聯(lián)機構平臺的直線運動精度可達nm級，角度精度可達μrad級，高精度的運動控制使得它的應用前景更加可觀。

芯明天壓電式六自由度平臺參數(shù)測試

芯明天壓電式六自由度并聯(lián)機構平臺實測的直線與角度位移與電壓曲線圖如下。

芯明天壓電式六自由度并聯(lián)機構平臺實測的直線與角度分辨率曲線如下圖。

芯明天壓電式六自由度并聯(lián)機構平臺的實測性能參數(shù)如下。

技術參數(shù)

型號：H60.XYZTR5S

運動自由度：X、Y、Z、θx、θy、θz

結構形式：六自由度并聯(lián)式

驅動方式：壓電式

X、Y軸標稱行程范圍：80µm

Z軸標稱行程范圍：55µm

θx、θy軸偏擺角度范圍：1.2mrad

θz軸旋轉角度范圍：1.6mrad

角度分辨率：優(yōu)于0.5μrad（0.1 秒）

直線位移分辨率：優(yōu)于0.5nm

閉環(huán)線性度：優(yōu)于0.1%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：優(yōu)于0.1%F.S.

承載能力：5kg

重量：1.3kg

芯明天六自由度并聯(lián)機構平臺的高精度運動定位控制能力，也吸引了黑龍江省電視臺記者的關注，對芯明天公司進行了相關采訪與報道。

在報道中，芯明天副總經理楊明遠先生表示：“作為國內精密定位的企業(yè)，我們將更好地把知識與經驗轉化為技術和產品，將繼續(xù)加大研發(fā)力度，豐富產品種類，為半導體核心器件的國產化做出貢獻"。