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    P63系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電定位臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu) 化，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺具有的控制精度，分辨率和穩(wěn)定 性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，壓電平臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易 于集成。

P63系列壓電納米定位臺典型應(yīng)用
• 顯微成像    • 納米定位
• 生物技術(shù)    • 半導(dǎo)體技術(shù)
• 質(zhì)量保證測試    • 微車削
• 原子力顯微鏡

小體積、高精度、響應(yīng)速度快
P63系列壓電納米定位臺zui重要的特點(diǎn)是超級精密 且體積非常小巧，尺寸僅為30×24×42mm（X軸尺寸 為30×24×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。
P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng)，是 為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè) 計(jì)的，具有超低慣性，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.3ms，可配置 高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

1-3維平移臺P63系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多種運(yùn)動方式可選。超小體積易于集成配套。 

 應(yīng)用實(shí)例

P63三維納米定位臺已經(jīng)應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺切削力測試實(shí)驗(yàn)中 

P63系列壓電納米定位臺特點(diǎn)：

• 1~3維自由組合

• 位移行程8μm

• zui大承載0.8kg

• 重復(fù)定位精度可達(dá)納米級

• 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

技術(shù)參數(shù)：