特性 一維X軸 超小體積 位移行程34μm 毫秒級響應(yīng)時間 納米級定位精度 一維X軸平移臺 N60為一維X軸運(yùn)動平臺，臺面兩個安裝螺紋孔，便于安裝負(fù)載。 高分辨率、高諧振頻率、體積小巧 N60采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，一維X軸運(yùn)動行程34μm，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸為28╳28╳12.5mm。N60壓電納米定位臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，無摩擦無后坐力，具有非常高的分辨率以及良好的動態(tài)性能，空載諧振頻率達(dá)1800Hz。
產(chǎn)品穩(wěn)定性好、無漂移、使用壽命長，體積小巧，方便與其他系統(tǒng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行集成安裝等優(yōu)異的性能使其適合于光學(xué)顯微掃描、精密加工、微操作等應(yīng)用。 高分辨率 N60配套E53壓電控制器，可實(shí)現(xiàn)0.5nm的步進(jìn)分辨率。 |
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