P51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大通 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。 P51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)參數(shù)： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P51.ZT1S P51.ZT1K | 單位 | 運(yùn)動自由度 | θx, θy, Z | | 標(biāo)稱直線行程范圍(0~+120V) | 80 | μm±20% | 大直線行程范圍(-20~+150V) | 110 | μm±20% | 標(biāo)稱偏擺角度 (0~+120V) | ±0.9/ 軸 | mrad±20% | 大偏擺角度 (-20~+150V) | ±1.1/ 軸 | mrad±20% | 傳感器類型 | SGS/- | | 閉/開環(huán)Z向位移分辨率 | 7/4 | nm | 閉/開環(huán)θx, θy偏擺分辨率 | 0.25/0.05 | μrad | 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05/- | %F.S. | 推/拉力 | 120/15 | N | 運(yùn)動方向剛度（Z向） | 1.5 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 230 | Hz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 30/4.5 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% | 行程 | 15 | 大承載 | 1 | kg | 靜電容量 | 3.6/ 軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁、鋼 | | 重量 | 820 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 特性： θx, θy 偏擺運(yùn)動，Z向升降 • 閉環(huán)定位精度高 • 響應(yīng)速度快 • 透光孔：80×80mm 典型應(yīng)用 • 掃描顯微 • 激光合束對準(zhǔn)與激光致盲 • 干涉/計(jì)量 • 空間擾動模擬系統(tǒng) • 生物技術(shù) • 掩模與晶片位置調(diào)整 仿真分析
通過有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機(jī)構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計(jì)運(yùn)動方向上的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許 *精度的運(yùn)動，因?yàn)殂q鏈機(jī)構(gòu)無間隙、無摩擦。 超高導(dǎo)向精度、分辨率高、閉環(huán)傳感精度高 P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉(zhuǎn) 行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達(dá)110μm。P51偏轉(zhuǎn)臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用 有限元分析進(jìn)行優(yōu)化，具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度。可選擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，確保其 具有的運(yùn)動控制精度，直線運(yùn)動分辨率可達(dá)到亞納米 級、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級。 超薄的設(shè)計(jì)適用于顯微應(yīng)用 P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準(zhǔn)、納米聚焦、計(jì)量等應(yīng) 用設(shè)計(jì)的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯 微鏡中。 |
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