P70 系列壓電掃描臺具有兩個版本，分別為二維 XY 向運(yùn)動、一維 Z 向運(yùn)動。兩個版本在四個角的位置都具有四個通孔，孔心距為 30mm，非常適于籠式結(jié)構(gòu)的安裝。XY 運(yùn)動版本額外具有四個沉孔，也適于螺紋安裝固定。 | 技術(shù)參數(shù) | 型號 | P70.XY20S ( 放大機(jī)構(gòu)） | P70.XY20K( 放大機(jī)構(gòu)） | 單位 | 運(yùn)動自由度 | X,Y | X,Y | | 行程范圍 | ±8.5（@120V） | ±8.5（@120V） | μm±10% | 傳感器類型 | SGS | - | | 閉環(huán)分辨率 | 1 | 0.6 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.3 | - | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.2 | - | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <15 | <15 | μrad | 承載能力 | 300 | 300 | g | 閉環(huán)響應(yīng)時間 | 30 | 30 | ms±20% | 空載諧振頻率 | 1.2 | 1.2 | kHz±20% | 加載諧振頻率 | 0.4（53g） | 0.4（53g） | ms±20% | 靜電容量 | 0.8/ 軸 | 0.8/ 軸 | μF±20% | 重量 | 175 | 175 | g±5% |
| 技術(shù)參數(shù) | 型號 | P70.Z8S (直驅(qū)機(jī)構(gòu)） | P70.Z8K（直驅(qū)機(jī)構(gòu)） | 單位 | 運(yùn)動自由度 | Z | Z | | 行程范圍 | 8（@150V） | 8（@150V） | μm±10% | 傳感器類型 | SGS | - | | 閉環(huán)分辨率 | 1 | 0.6 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.25 | - | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.16 | - | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <10 | <10 | μrad | 承載能力 | 200 | 200 | g | 閉環(huán)響應(yīng)時間 | 30 | 20 | ms±20% | 空載諧振頻率 | 3.6 | 3.6 | kHz±20% | 加載諧振頻率 | 1.5（200g） | 1.5（200g） | ms±20% | 靜電容量 | 1.6 | 1.6 | μF±20% | 重量 | 128.5 | 128.5 | g±5% |
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