N11系列直線(xiàn)壓電馬達(dá)采用粘滑原理，將 PZT 壓電陶瓷的微運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為毫米級(jí)長(zhǎng)行程。它的體積非常小巧，僅 15×15×7mm^3。而它的行程卻可高達(dá) 3.6mm，非常適用于受限空間中毫米范圍行程的調(diào)整應(yīng)用。
產(chǎn)品特點(diǎn)
行程可達(dá) 3.6mm
一至三維可選
體積小、重量輕
速度可達(dá) 2mm/s
斷電自鎖
產(chǎn)品應(yīng)用
超分辨成像樣品移動(dòng)
微納裝備及制造
掃描電鏡（SEM）樣品操縱
納米聚焦與掃描
集成電路制造與檢測(cè)
顯微及納米 CT
大范圍電子束直寫(xiě)（EBL）
高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿
N11系列直線(xiàn)壓電馬達(dá)
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