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P13系列三維壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部采用的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，具有超高導(dǎo)向精度、負(fù)載能力大、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)。同時(shí)具有的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。壓電定位臺(tái)采用無(wú)磁材質(zhì)，在使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)影響，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，非常易于集成。

P13納米定位臺(tái)體積非常小巧，尺寸僅為35×35×36mm，非常易于集成到任何掃描儀器中。同時(shí)P13為超高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描等應(yīng)用專門設(shè)計(jì)的，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.8ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

技術(shù)參數(shù)

推薦控制器

E01.D3
3路輸出

旋鈕、模擬、上位機(jī)通信

開環(huán)/閉環(huán)

平均功率7W/通道

E70.S3
3路輸出

模擬與數(shù)字控制

開環(huán)/閉環(huán)

平均功率5W/通道

E72.S3
3路輸出

模擬、上位機(jī)通信控制

開環(huán)/閉環(huán)

平均功率6W/通道